包括多台X射线衍射仪、高分辨扫描电子显微镜、场发射透射电子显微镜、聚焦离子束系统、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、纳米压痕、拉曼及椭偏光谱仪。可用于微纳电子器件薄膜质量晶相表征、形貌测试、成分分析、特性、化学键测试等,可提供完整可靠的表征标准。