包括多台12-8-4ASMBENEQPicosun原子层沉积系统、美国应用材料公司、德国Cretec公司高真空薄膜磁控溅射淀积系统、快速热退火系统与脉冲激光退火、微波退火系统。可支持形成1-2纳米等效氧化层淀积技术、肖特基金属源漏技术、超低能注入结合激光退火技术能力获得大束流、超低能的均匀超浅结结构;可提供12-8-4寸晶圆上多种新型材料及金属单质原子层淀积技术。