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半浮栅晶体管产业技术

发布机构:长三角集成电路研发设备公共服务平台发布日期:2014-05-27 15:10

依靠先进器件与工艺实施子平台,基于0.18um CMOS工艺研发了世界首创的微电子基础器件半浮栅晶体管产业技术;并充分利用了协同创新中心机制设施,在中心共享服务体系内的65nm生产线上进行工艺流片验证,大大加速了研究成果的产业化应用进程,并且降低了研发成本。

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