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服务中微半导体设备(上海)有限公司

发布机构:长三角集成电路研发设备公共服务平台发布日期:2014-05-27 15:07

长三角集成电路研发设备公共服务平台对中微公司开发的65-45纳米介质刻蚀Beta样机进行配套工艺开发和工艺验证,并协助设备优化和产业化。由于优异的性能表现,该设备已经进入包括台湾台积电、中芯国际、Global Foundries(原新加坡特许)、台湾华邦、台湾瑞晶在内的亚洲一流客户芯片生产线,加工了50万片以上65纳米的客户芯片,合格率良好;并开始拿到海外正式产品订单,包括已收到世界最大芯片代工厂台积电的5台设备订单。中微90/65纳米工艺刻蚀设备产品今年还将进入韩国和日本的高端市场,产品产业化前景光明。

在“十二五“专项任务中,服务平台继续在中微开发的32nm-22nmAlphaBeta样机上进行配套工艺开发和2层金属集成条件下的工艺验证,协助设备优化和产业化;开发出满足32nm-22nm超大规模集成电路技术代的后段(超)低介电系数介质刻蚀工艺,这些工艺可以作为配套该设备应用的基础刻蚀菜单(BKM RECIPE)以提供给客户作为其具体应用的参考。根据工艺开发过程和结果出具完整的设备能力工艺评价报告,包括与国际同类先进设备的技术要求相一致的ATPAcceptance Test Procedures)测试报告、32-22nm工艺条件下的工艺参数(WAT)评价报告等,供设备开发商和使用者参考。

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